GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢

标准编号：GB/T 14851-2009  
简体名称：电子工业用气体 磷化氢  
繁体名称：電子工業用氣體 磷化氫  
英文名称：Gas for electronic industry—Phosphine

标准简介：
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

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