GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦

标准编号：GB/T 16943-2009  
简体名称：电子工业用气体 氦  
繁体名称：電子工業用氣體 氦  
英文名称：Gas for electronic industry—Helium

标准简介：
本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。

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