GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫

标准编号：GB/T 18867-2002  
简体名称：电子工业用气体 六氟化硫
繁体名称：電子工業用氣體 六氟化硫
英文名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

标准简介：
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。

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